Image
Text
Excimerové lasery (193/248 nm): dva Compex 205 F a jeden LUMONIX; Nd: YAG laser (1064/532 nm); Deset vakuových komor pro laserové a hybridní depozice vč. vysokofrekvenčního výboje, magnetronu (Kurt J. Lesker), iontového děla (Kaufman-Robinson EH200 s max. Výkonem 210 eV) a ohřevného modulu; Profilometr Alphastep IQ (KIA Tencor), UV-VIS vláknové spektrometry USB2000 + (Ocean optics) 200 900 nm zahrnují integraci; Thermocamera FLUKE Ti-55 (60 Hz); Topná trouba (LAC LE 05/11)