Projekty FZU (archiv)

Název projektu / akronym Řešitel Poskytovatel a program Rok zahájení Rok ukončení
Minimal Fab "design" systému depozice po atomárních vrstvách (ALD) (Minimal Fab ALD) Mgr. Martin Čada, Ph.D. TAČR » DELTA 2 2020 2022
Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev Mgr. Martin Čada, Ph.D. GAČR » Standardní 2019 2021
Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů Mgr. Martin Čada, Ph.D. MPO » TRIO 2018 2021
Pokročilá příprava katalyticky aktivních oxidů na kovových nosičích s využitím plazmové depozice a chemických metod Mgr. Martin Čada, Ph.D. GAČR » Standardní 2017 2019
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje. Mgr. Martin Čada, Ph.D. TAČR » DELTA 2016 2019
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Mgr. Martin Čada, Ph.D. GAČR » Standardní 2015 2017
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev Mgr. Martin Čada, Ph.D. MŠMT » Programy mezinárodní spolupráce - COST CZ 2012 2013
Pokročilý experimentální výzkum výbojových zdrojů plazmatu použitých pro přípravu nanostrukturovaných tenkých Mgr. Martin Čada, Ph.D. GAČR » Standardní 2011 2013
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu. Mgr. Martin Čada, Ph.D. GAČR » Postdoktorský 2009 2011