Mikrovýroba a aplikace

Text

Skupina MNB studuje výrobu a vlastnosti různých nových zařízení na základě svých zkušeností s depozicí diamantu technikou CVD. S vynikající biokompatibilitou a chemickou stabilitou a robustní funkcionalizací povrchu je diamant atraktivním materiálem pro biosenzorické aplikace. Skupina vyvíjí různé typy diamantových elektrod dopovaných borem pro úpravu vody [MNB08], redukci CO2, průhledné a vodivé elektrody[MNB09], chemické a biologické snímání [MNB10] a neurosignalizaci [MNB11]. Kromě elektrochemických aplikací skupina vyvíjí biosenzory povrchových akustických vln pracující v kapalinách na bázi velmi tenkých diamantových vrstev nanesených na piezoelektrických substrátech (křemen, LiTaO3 atd.) při nízké teplotě na velké ploše. Vývoj elektrochemických elektrod a senzorů a povrchových akustických zařízení jde ruku v ruce s vývojem mikrovýrobních technologií. Proto skupina vyvíjí diamantové mikrofabrikační procesy a metody pro vývoj těchto senzorů a budoucích elektronických zařízení, jako jsou diamantové diody a tranzistory s efektem pole.

(vlevo nahoře) Schéma a frekvenční charakteristika diamantem pokrytých senzorů s Loveovou povrchovou akustickou vlnovou; (vpravo nahoře) Elektrochemické elektrody s rotujícím prstencovým diskem; (vlevo uprostřed) Obrázek senzoru plynu na bázi hydrogenovaného nanokrystalického diamantu; (uprostřed) Schéma plynového senzoru; (uprostřed vpravo) Křivky odezvy dynamického snímání nanokrystalického diamantu na plyn NO2; (vlevo dole) Elektrochemická detekce dopaminu pomocí porézních diamantových elektrod dopovanýc
Popis

(vlevo nahoře) Schéma a frekvenční charakteristika diamantem pokrytých senzorů s Loveovou povrchovou akustickou vlnovou; (vpravo nahoře) Elektrochemické elektrody s rotujícím prstencovým diskem; (vlevo uprostřed) Obrázek senzoru plynu na bázi hydrogenovaného nanokrystalického diamantu; (uprostřed) Schéma plynového senzoru; (uprostřed vpravo) Křivky odezvy dynamického snímání nanokrystalického diamantu na plyn NO2; (vlevo dole) Elektrochemická detekce dopaminu pomocí porézních diamantových elektrod dopovaných borem; (spodní střed) Snímek z elektronové mikroskopie bórem dopovaných diamantových elektronických testovacích zařízení; (vpravo dole) Průhledná a vodivá nanokrystalická diamantová elektroda dopovaná borem na skle.

[MNB08] P. Ashcheulov et al., Nanocrystalline Boron-Doped Diamond as a Corrosion-Resistant Anode for Water Oxidation via Si Photoelectrodes, ACS Appl. Mater. Interfaces 10 (2018) 29552 - DOI: 10.1021/acsami.8b08714

[MNB09] P. Ashcheulov et al., Optically transparent composite diamond/Ti electrodes, Carbon 119 (2017) 179 - DOI: 10.1016/j.carbon.2017.04.035

 [MNB10] L .Drbohlavova et al., Love-wave devices with continuous and discrete nanocrystalline diamond coating for biosensing applications, Sens. Actuators, A 298 (2019) 111584 - DOI: 10.1016/j.sna.2019.111584

[MNB11] S. Baluchová, A. Taylor, V. Mortet et al, Porous boron doped diamond for dopamine sensing: Effect of boron doping level on morphology and electrochemical performance, Electrochim. Acta 327 (2019) 135025 - DOI: 10.1016/j.electacta.2019.135025

Na tématu se podílejí