Pokročilé metody přípravy a experimentální výzkum systémů dopovaných perovskitových tenkých vrstev s vysokou hustotou akumulace energie

Předpokládáme výzkum komplexu základních jevů spojených s přípravou tenkovrstvých systémů dopovaných perovskitů vykazujících vysokou dielektrickou permitivitu a elektrickou pevnost s cílem dosažení vysoké hustoty akumulace energie. Vlastnosti tenkých vrstev, nuklease a tvorba klasterů budou studovány v závislosti na parametrech depozičního plazmatu a podmínkách perkolačního procesu. Výzkum různých postupů depozice bude zahrnovat plazmatické zdroje typu: pulzní DC a RF-pulzně modulovaný válcový a planární magnetron, pulzní DC a RF dutá katoda a pulzně modulovaný mikrovlnný surfatron. Plazmatické zdroje doplňuje sol-gel metoda. Diagnostika plazmatu bude realizována pomocí elektrostatické sondy, emisní a laserové absorpční spektroskopie, hmotové spektrometrie a měření energetického rozdělení iontů. Budou vyvinuty postupy pro kontrolovanou realizaci perkolačních struktur. Charakterizace připravovaných perkolačních systémů tenkých vrstev bude doprovázena modelováním a numerickou simulací makroskopických parametrů.