Řešitel Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. Mgr. Martin Čada, Ph.D. Ing. Petra Kšírová, Ph.D. Jiří Šmíd RNDr. Jiří Olejníček, Ph.D. Ing. Štěpán Kment, Ph.D. Laboratoř / Oddělení Oddělení nízkoteplotního plazmatu Datum udělení 1. 1. 2012 Dovětek Byl realizován lineární měřící systém depozičního plazmového procesu pro velkoplošné procesy. Ten umožnil měřit prostorovou distribuci tepelného toku, iontového toku a depoziční rychlosti
