Postscript
Funkční vzorek je realizován jako dvou-magnetronový naprašovací systém s vloženou ICP elektrodou pracující na vlnové rezonanci. Magnetrony jsou napájeny dvěma HiPIMS pulzními zdroji. Držák vzorků je připojen na zdroj RF napětí pracující v pulzně modulovaném módu. Depoziční systém umožňuje připravovat slitinové tenké vrstvy za extrémně nízkých tlaků.