Text
Elektronovým svazkem indukovaný proud vzorkem se zdá býti samozřejmostí elektronové mikroskopie, jedná se však atypickou, jakkoli historickou metodu elektronové mikroskopie. Při měření EBIC proudů vzorkem prochází proud a elektronový svazek působí jako báze tranzistoru. Celé zapojení je tedy určené k hledání polovodivých přechodů a vlastně i všech událostí, které zpožďují proudové nosiče. Aplikace této měřící metody mimo studium polovodičů nalezneme v geologii.
Popis
Obrázek: Masivní křemíkový tranzistor, vlevo snímek v sekundárních elektronech, vpravo EBIC. V EBIC signálu vidíme jen p-n přechod v tranzistoru, signál je vpravo přerušen stínem přívodního drátu.