Vývoj optické sestavy a procesu založeného na nelineární absorpci pro TGV (MBB-TGV)

Anotace

Cílem projektu je výzkum a vývoj technologie skládající se z optické sestavy a procesu založeného na nelineární absorpci pro TGV s využitím vice-svazkového obrábění, Besselovského svazku a KOH chemického leptání. Indikátory dosažení cíle projektu je simultánní vrtání více děr o průměru do 25 mikrometrů ve 100 mikrometrovém skleněném substrátu.