Perex
Tento článek představuje pečlivou optimalizaci složení plynu pro přípravu nanokrystalických diamantových vrstev dopovaných bórem pomocí lineární anténou indukované mikrovlnní plazmochemické depozice z plynné fáze. Radikálním zvýšením obsahu B a pečlivým zvážením obsahu O v plynné fázi byly připraveny diamantové vrstvy dopované bórem na velkých plochách s vysokými koncentracemi boru a úrovněmi elektrické vodivosti blízké diamantovým vrstvám dopovaným bórem připravené v konvenčních systémech MW PECVD s elektrochemickými vlastnostmi vhodnými pro průmyslové aplikace.
Text
Popis
(vlevo) obrázek bórem dopovaného nanokrystalického diamantu naneseného na 6palcovém taveném křemenném substrátu (vpravo) obrázek a mapa elektrické vodivosti .
Kontaktní osoba: Andrew Taylor, +420 266 052 634, taylor [at] fzu [dot] cz
Spolupracující subjekt:
- Fakulta biomedicínského inženýrství, ČVUT v Praze, Nám. Sítna 3105, 272 01 Kladno, Česká republika
- Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského, Akademie věd České republiky, Dolejškova 3, 182 23 Praha 8, Česká republika
- Centrum výzkumu Řež s. r. o., Hlavní 130, 250 68 Husinec-Řež, Česká republika
- Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes (LAAS), CNRS, Toulouse, France