Mgr. Martin Čada, Ph.D.
Skupina se zabývá pokročilou diagnostikou nízkoteplotního plazmatu v plazmatických systémech převážně určených pro depozice tenkých vrstev. Mezi hlavní diagnostické metody patří Langmuriova sonda, energeticky rozlišená hmotnostní spektroskopie, optická emisní spektroskopie, měření iontové toku na podložku (Sobolewského sonda), optická absorpční spektroskopie nebo měření množství deponovaných částic ve formě neutrálů nebo iontů (Ionmeter). Všechny výše uvedené metody umožňují také časově rozlišná měření s rozlišením minimálně 1 µs.
Zjištěné parametry plazmatu pak slouží k další optimalizaci depozičních procesů při magnetronovém naprašování, depozicích tenkých vrstev pomocí plazmové trysky nebo v PEALD procesu pracujícím s mikrovlnným surfatronem nebo ICP plazmatem.