Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.

Řešitel z FZU
Mgr. Martin Čada, Ph.D.
Poskytovatel a program
TAČR » DELTA
Rok zahájení
2016
Rok ukončení
2019
Registrační číslo
TF03000025

Vývoj prototypu plazma aktivovaného ALD reaktoru s využitím unikátních zdrojů plazmatu pro depozice a leptání tenkých vrstev na substrátech o velikosti do 300 mm: - Design ALD reaktoru s využitím know-how korejského partnera a jeho fluidně dynamické modelování pro optimalizaci - Implementace plazmatických systémů s MW surfatrony a ECWR do ALD reaktorů na základě teoretických a experimentálních výsledků parametrů plazmatu - Aplikace remote PE-ALD pro depozici alespoň jednoho typu ALD vrstev