Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev

Anotace

Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost odborné veřejnosti je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na detailní charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Výsledky charakterizace plazmatu budou srovnávány s výstupy teoretického modelu R-IRM. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces.