Image
Text
Zařízení umožňuje provádět komplexní diagnostiku nízkoteplotního plazmatu s časovým rozlišením přímo při technologickém procesu. To zahrnuje měření časově rozlišených spekter iontů z plazmatu a jejich energetickou distribuční funkci, měření mikroparametrů plazmatu jako je elektronová distribuční funkce, potenciál plazmatu, koncentrace elektronů, iontů a ionizace depozičních částic.