Hybridní reaktivní pulzní HiPIMS+ECWR depoziční systém pro polovodivé tenké vrstvy Obrázek dlaždice Image
Komplexní měřící systém diagnostiky nízkoteplotního plazmatu aplikovaný při technologických procesech s možností měření s časovým rozlišením Obrázek dlaždice Image
Lineární plazmatický systém s řadou dutých katod pro rychlou reaktivní depozici tenkých vrstev Obrázek dlaždice Image
