Image

Text
Skenovací elektronový mikroskop MAIA 3 (Tescan) vybaven detektory pro detekci sekundárních elektronů (SE) a zpětně odražených elektronů (BSE). Rozlišení mikroskopu je 1 nm při urychlovacím napětí 15 kV. Nově vybaven možností analýzy prvkového složení pomocí metody EDS (Energy-dispersive X-ray spectroscopy).