Laboratoř magnetronového naprašování

Dr. Dominik Kriegner

Funkce zaměstnance
Vedoucí laboratoře
Telefon
220 318 621
E-mail
kriegner [at] fzu.cz
Lokalita
Cukrovarnická
Místnost
F 36
Text

Laboratoř magnetronového naprašování se skládá z vysokovakuového systému se čtyřmi 2palcovými magnetrony, speciální 1palcovou naprašovací pistolí (zdroj clusteru) a 4palcovým držákem substrátu (teplota až 970°C). Více DC a RF napájecích zdrojů umožňuje společné naprašování z více cílů. Zatímco manipulace se vzorky je manuální, proces ukládání může být plně automatizován.

High vacuum sputtering system AJA Orion 8
Popis

High vacuum sputtering system AJA Orion 8