Dr. Dominik Kriegner
Funkce zaměstnance
Vedoucí laboratoře
Telefon
E-mail
kriegner [at] fzu.cz
Lokalita
Cukrovarnická
Místnost
F 36
F 38
Text
Laboratoř magnetronového naprašování se skládá z vysokovakuového systému se čtyřmi 2palcovými magnetrony, speciální 1palcovou naprašovací pistolí (zdroj clusteru) a 4palcovým držákem substrátu (teplota až 970°C). Více DC a RF napájecích zdrojů umožňuje společné naprašování z více cílů. Zatímco manipulace se vzorky je manuální, proces ukládání může být plně automatizován.
Popis
High vacuum sputtering system AJA Orion 8