Laboratoř nanolitografie je umístěna v čistém prostoru a je vybavena elektronovým litografem (Raith e-Line) a kompletním řetězcem navazujících procesních technologií. Ty zahrnují systém pro suché leptání (Oxford Instruments Plasmalab 100, Diener Electronics FEMTO), sadu laminárních boxů a digestoří pro chemické leptání, vakuové napařování kovů (Angstrom Covap0, magnetronové naprašování (Leybold-Heraeus) a UV osvitovou jednotku pro optickou litografii (Elektromat JUB2).