Skupina se zaměřuje na základní a aplikovaný výzkum vrstev a struktur na bázi uhlíku, zejména diamantu, připravovaných plasmo-chemickou depozicí a experimentální výzkum depozičních systémů. Cílíme na pochopení vztahů mezi procesními parametry plasmo-chemických procesů a materiálovými vlastnostmi vytvářených materiálů.

V rámci předúpravy substrátů se zaměřujeme na studium tzv. nukleace za účelem selektivní depozice diamantových mikro-struktur s využitím optimalizovaných funkčních diamantových nanočástic a také stimulací růstu požadovaných alotropů uhlíku na definovaných substrátech.

Samotné depoziční procesy zkoumáme z hlediska dosažení cílených vlastností k dalšímu vývoji a realizaci pasivních a aktivních opto-elektronických, elektrochemických a senzorových prvků funkčních i po jejich vystavení extrémním podmínkám (agresivní chemické prostředí, zvýšená teplota, radiace, výkonové zatížení apod.).

Depoziční systém Aixtron P6 s elipsoidním rezonátorem a velkoplošný systém AK 400 v konfiguraci s lineárními anténami.
Dept27_SKDiaFig1.png
Dept27_SKDiaFig2.png