Anotace
Navrhovaný projekt se zaměřuje na výrobu a charakterizaci nové třídy zařízení MEMS založených na širokopásmových mezerách (diamant, GaN). Navrhovaná projektová strategie poprvé umožní osvětlit složitost multifunkčních struktur MEMS, která zahrnuje syntézu materiálu, komplexní mikroobrábění a charakterizaci.