Anotace
Cílem projektu AMPS-ML je vývoj pokročilé MEMS technologie pro průmyslové aplikace v oblasti senzoriky a posílení česko-tchajwanské spolupráce v sektoru pokročilých materiálů a senzorových technologií. Projekt si klade za cíl prozkoumat inovativní MEMS senzory se zvýšenou: výtěžností produkce, citlivostí a selektivitou a přesností identifikace plynů. Těchto cílů bude dosaženo implementací nových materiálů a metod strojového učení (ML). Klíčové oblasti výzkumu zahrnují:
1. Syntéza heterostruktur s/bez diamantu pro MEMS aplikace,
2. Aplikace principů hybridní detekce pro snímání plynů, těkavých organických látek a biomolekul,
3. Implementace ML algoritmů pro zvýšení výkonu senzorů,
4. Zavedení pokročilých technologických procesů PVD/CVD pro výrobu MEMS komponentů.