O nás

Souhrn

MOVPE laboratoř se věnuje výzkumu a vývoji polovodičových nanostruktur na bázi III-V polovodičů, v posledních letech se zaměřením na nitridové polovodiče.

Text

Polovodičové heterostruktury jsou připravovány pomocí technologie epitaxe z organokovových sloučenin (MOVPE – z anglického Metal Organic Vapour Phase Epitaxy) patřící do skupiny epitaxe z plynné fáze. Pro přípravu sloučeninových polovodičů využívá jako zdrojové materiály tzv. prekurzory, kterými jsou v tomto případě organokovové molekuly a hydridy. Touto metodou je možné připravit vysoce kvalitní a tenké monokrystalické polovodičové vrstvy s nízkou koncentrací nečistot. Výhodou této technologie je, že struktury nevyžadují přípravu za podmínek vysokého vakua, MOVPE proto bývá upřednostňována v průmyslu. S pomocí diagnostiky používané během epitaxního růstu je možné sledovat rychlost a kvalitu připravované struktury přímo během její výroby.

Technologické zařízení Aixtron CCS 3×2 FT a jeho reaktor – slouží pro přípravu nitridových struktur.