Mikromechanické resonátory s účelově měnitelnými fyzikálními a mechanickými vlastnostmi použitelné pro různé biomateriálni a fyzikální snímače

Nový výzkumný program zaměřený na vývoj nanorezonátorů využívající tenké vrstvy NiTi a vrstevnaté materiály pro sensory využívající nelineárních vibračních vlastností NiTi a jejich teplotní závislosti byl zahájen a přinesl první výsledky [1-3].

Popis

Schema nanokantilevery NiTi/Si (vlevo) a vypočítaný frekvenční posuv Df nanokantileveru jako funkce efektivního elastického modulu (Eeff_0)0.5  pro délku nosníku L = 10 μ [1].

[1] I. Stachiv, P. Sittner, Nanocantilevers with adjustable static deflection and significantly tunable spectrum resonant frequencies for applications in nanomechanical mass sensors, Nanomaterials 8 (2018) 116

[2] I. Stachiv, P. Sittner, J. Olejnicek, M. Landa, L. Heller, Exploiting NiTi shape memory alloy films in design of tunable high frequency microcantilever resonators, Applied Physics Letters 111 (2017), 213105

[3] I. Stachiv, P. Sittner, Y.R. Jeng, D. Vokoun, Active frequency tuning of the cantilever nanoresonator utilizing a phase transformation of NiTi thin film. Journal of Vibroengineering 19 (2017) 7