Laserové aplikace Ho:YAG tenko diskového laseru
Datum zahájení
1. 11. 2016
Datum ukončení
31. 10. 2019
DELTA
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
Datum zahájení
1. 11. 2016
Datum ukončení
31. 10. 2019
Výzkum a vývoj pokročilého PVD/PECVD nízkoteplotního plazmatického systému pro depozice funkčních oxidů se zaměřením na TiO2 tenké vrstvy pro rozklad vody
Datum zahájení
1. 3. 2015
Datum ukončení
28. 2. 2018