Aparatura MOVPE AIXTRON CCS 3×2 FT pro přípravu nitridových polovodičů

Moderní technologická aparatura pro přípravu polovodičových nitridových struktur metodou MOVPE (epitaxe z organokovových sloučenin) - AIXTRON CCS 3×2 FT od stejnojmenné firmy Aixtron. Kombinováním vrstev sloučeninových A^IIIB^V polovodičů GaN, AlN, InN a jejich ternární směsi, jejich různým dotováním a změnami růstových parametrů lze připravit pestrou škálu polovodičových heterostruktur s různými možnostmi aplikací. Na této aparatuře se připravují heterostruktury s kvantově rozměrnými prvky, kvantovými jamami a supermřížkami pro využití např. v aktivních oblastech scintilátorů, detektorů a tranzistorů.