Fyzikální nanášení tenkých vrstev

Vakuový system pro přípravu elektrických kontaktů
Režim
zakázkový přístup
Kategorie
Příprava materiálů > Tenké vrstvy a povlaky
Zařazení do struktury
Laboratoř transportních jevů

Vakuová komora Edwards AUTO 500 (p<10-6 mbar) s možností depozice tenkých vrstev vakuovým vypařováním pomocí elektronového svazku, magnetronovým naprašováním a kombinací těchto metod. Využití zejména pro přípravu elektrických kontaktů.