Rotary powder sample holder, vacuum assembly for a low pressure plasma reactor, their use and plasma powder modification method

Řešitel
  • Y.Y. Chang
Laboratoř / Oddělení
Oddělení optických materiálů
Číslo
Patent 307913 / PV 2018-644
Datum udělení
Patent PV2018-644 registrován Úřadem průmyslového vlastnictví pod číslem CZ307913. Patent PV2018-644 registered by the Industrial Property Office under number CZ307913.