Řešitel Ing. Tomáš Mates, Ph.D. A. Mašláni M. Buryi J. Zich J. Vyskočil Laboratoř / Oddělení Oddělení tenkých vrstev a nanostruktur Datum udělení 1. 1. 2025 Dovětek Protokol o ověření technologie v rámci plnění cíle V008 (Ztech) projektu TA ČR TN02000069/004.