Deposition system for preparation of thin films by RF discharge plasma polymerization

Dovětek
Funkční vzorek „Depoziční aparatura pro depozici vrstev pomocí plazmové polymerizace RF výbojem“, který vznikl v rámci spolupráce Fyzikálního ústavu, AVČR, v.v.i., Vysoké školy chemicko-technologické v Praze a Tesla Blatná a.s. na projektu FV20350, „Chemirezistory na bázi nanokompozitních vrstev pro detekci plynů“.