Ing. Zbyněk Šobáň, Ph.D.
Funkce zaměstnance
Vedoucí laboratoře
Telefon
220 318 439
E-mail
soban [at] fzu.cz
Lokalita
Cukrovarnická
Místnost
F 101
Text
Laboratoř nanolitografie je umístěna v čistém prostoru a je vybavena elektronovým litografem (Raith e-Line) a kompletním řetězcem navazujících procesních technologií. Ty zahrnují systém pro suché leptání (Oxford Instruments Plasmalab 100, Diener Electronics FEMTO), sadu laminárních boxů a digestoří pro chemické leptání, vakuové napařování kovů (Angstrom Covap0, magnetronové naprašování (Leybold-Heraeus) a UV osvitovou jednotku pro optickou litografii (Elektromat JUB2).