Device to control deposition of thin layers in vacuum multijet plasma system

Řešitel

RNDr. Jiří Olejníček, Ph.D.

Ing. Jiří Šmíd

Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D.

doc. PaedDr. Petr Adámek, Ph.D.

Mgr. Martin Čada, Ph.D.

Ing. Štěpán Kment, Ph.D.

Laboratoř / Oddělení

Oddělení nízkoteplotního plazmatu

Číslo

Užitný a průmyslový vzor CZ 30018 U1

Datum udělení

1. 1. 2016

(2016) -.

© 1998 – 2026 Copyright © Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.