System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process

Řešitel

Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D.

Mgr. Martin Čada, Ph.D.

T. Kubart

doc. PaedDr. Petr Adámek, Ph.D.

RNDr. Jiří Olejníček, Ph.D.

Ing. Štěpán Kment, Ph.D.

Laboratoř / Oddělení

Oddělení nízkoteplotního plazmatu

Číslo

Užitný a průmyslový vzor 25867

Datum udělení

1. 1. 2013

-

© 1998 – 2026 Copyright © Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.