Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01

Řešitel
  • J. Šmíd
  • A. Churpita
  • P. Lukašík
  • A. Piják
  • J. Dolák
  • P. Martinek
  • J. Pitrun
  • Š. Rek
  • L. Konečný
  • G. Mareš
  • J. Štěpánek
  • J. Jakeš
  • Z. Křenek
  • M. Joštic
Laboratoř / Oddělení
Oddělení polovodičů
Datum udělení
Funkční vzorek: PST1/FZÚ-SVCS/2011