Tenké vrstvy v chladném plazmatu

Anotace

V celém světě se připravují nové navigační soustavy, rozšiřují se pozemní i satelitní spoje, roste počet kanálů televizního vysílání z družic – tam všude se přechází ke stále vyšším kmitočtovým pásmům. A pro tyto potřeby je nezbytné hromadně nasadit nové mikroelektronické součástky.