Aplikace elektrostatického Thompsonova-Lampardova teorému na měření rezistivity

Text

Byla navržena metoda měření rezistivity plochých vzorků a tenkých vrstev komplementární ke známé metodě van der Pauwově. Metoda, jenž je založena na aplikaci elektrostatického Thompson-Lampardova teorému používaného v metrologii při realizaci tzv. spočítatelného kondenzátoru, umožňuje racionální design celé škály elektrodových systémů vhodných pro kvantitativní transportní měření.

Kontakty Lampardova typu
Popis

Příklad kompaktního designu elektrodového systému Lampardova typu, který je vhodný jako testovací motiv pro polovodičové čipy