Text
Pomocí pulzního reaktivního magnetronového naprašování (r-HIPIMS) byly nanášeny povlaky nakompozitních vrstev CuCNx na frézovací nástroje. Jednalo se o antivibrační multivrstvé povlaky, které tlumí vibrace nástroje při procesu frézování. Povlaky jsou tvořeny soustavou kompozitních vrstev CuCNx a kovových Cu mezivrstev, které zlepšovaly adhezi a kohezi povlaku a dále zlepšovaly tlumení mechanických vibrací. Multivrstvy byly nanášeny reaktivním pulzním HIPIMS magnetronem s měděným terčem a reaktivními plyny C2H2 a N2.
Popis
Reaktivní pulzní magnetronový HIPIMS systém pro depozici nanokompozitních antivibračních vrstev CuCNx.