Mgr. Martin Čada, Ph.D.

Výzkum a vývoj naprašovacích technik pro depozice tenkých vrstev a pokročilá diagnostika nízkoteplotního plazmatu

Martin Čada
Zástupce vedoucího oddělení 25, vedoucí laboratoře
Kategorie
Ved. věd. pracovník
Sekce (číslo)
Oddělení (číslo)
Laboratoř / vědecká skupina
Telefon
266 05 2418, 266 05 2995, 266 05 2456
E-mail
cada [at] fzu.cz
Lokalita
Slovanka
Místnost
O 331
O 329
O 218
Název Poskytovatel a program Řešitel z FZU Datum zahájení Datum ukončení
Tenzometrické tenkovrstvé senzory s vysokou citlivostí a životností připravované pomocí magnetronové depozice (Senzor) běžící TAČR » TREND 1. 3. 2023 30. 6. 2026
Inovativní plazmově-chemická a chemická syntéza katalyzátorů na bázi směsných oxidů niklu pro oxidaci těkavých organických polutantů GAČR » Standard 1. 1. 2021 31. 12. 2023
Minimal Fab "design" systému depozice po atomárních vrstvách (ALD) (Minimal Fab ALD) TAČR » DELTA 2 1. 1. 2020 30. 6. 2022
Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev GAČR » Standard 1. 1. 2019 31. 12. 2021
Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů MPO » TRIO 1. 1. 2018 31. 12. 2021
Pokročilá příprava katalyticky aktivních oxidů na kovových nosičích s využitím plazmové depozice a chemických metod GAČR » Standard 1. 1. 2017 31. 12. 2019
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje. TAČR » DELTA 1. 11. 2016 31. 10. 2019
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace GAČR » Standard 1. 1. 2015 31. 12. 2017
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev MŠMT » Programy mezinárodní spolupráce - COST CZ 1. 3. 2012 30. 6. 2013
Pokročilý experimentální výzkum výbojových zdrojů plazmatu použitých pro přípravu nanostrukturovaných tenkých GAČR » Standard 1. 1. 2011 31. 12. 2013
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu. GAČR » Postdoktorský 2009 2011