Činnost

Text
  • technologie tenkých vrstev (diamant, GaN, ...) a plasmatických procesů
  • Ramanova spektroskopie, elektrické měření
  • vývoj a testování impedančních a FET senzorů pro bioelektronické aplikace a GaN/diamant hybridních struktur pro vysokoteplotní a výkonové aplikace
  • automatizace měřícího pracoviště
  • strukturování tenkých vrstev (RIE), optická litografie, atd.

ORCID: 0000-0002-0411-7279