Vývoj laserového systému generujícího vysokoenergetické pulzy v ultrafialové oblasti pro použití v průmyslu laserového žíhání polovodičů

Anotace

Cílem projektu je vyvinout funkční laser, který bude poskytovat vysokoenergetické nanosekundové pulzy v infračervené (1064 nm), viditelné (532 nm) a ultrafialové (355 nm) oblasti spektra, který bude použitelný pro laserové žíhání polovodičů. Laser o energii pulzu 10 J a opakovací frekvenci 10 Hz, vyvinutý korejskými partnery, bude poskytovat svazek pro konverzní modul generující svazky kratších vlnových délek s energií pulzů do 5 J pro svazek 532 nm a do 3 J pro svazek 355 nm. Konverzní modul bude vycházet z optickém schématu, v jehož rámci budou vybrány komponenty s vysokým prahem poškození. Cílem mechanického návrhu bude určit rozložení komponent včetně jejich stabilního uchycení a zakrytování celého modulu. Integrace s laserem bude zahrnovat i systém řízení a bezpečnosti.