Křemíkové nanodrátky jsou nanometrové stavební jednotky s celou řadou jedinečných vlastností. Díky nim se očekává, že nanodráty budou důležitými součástkami v budoucí nanoelektronice. Tento projekt má za cíl vyvinout nový způsob přípravy samouspořádaných/orientovaných nanodrátků při nízkých teplotách na křemíkových a jiných substrátech. Pro tyto účely plánujeme zkoumat nové katalytické kovy a růstové režimy při syntéze křemíkových nanodrátků pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD), abychom dosáhli kontrolované nukleace, růstu a orientace nanodrátků. Pomocí systematického studia růstových parametrů a jejich vlivu na termodynamiku růstu a výsledných fyzikálních vlastností nanodrátků chceme docílit základního pochopení růstového mechanismu. Očekáváme, že při dosažení kontrolovaného růstu křemíkových nanodrátků bude možno pomocí litografických metod vytvořit funkčnítřídimenzionální struktury, které mohou najít uplatnění v budoucích tranzistorech, senzorech a optoelektronických zařízeních.
Křemíkové nanodrátky pro třídimenzionální nanoelektroniku
Anotace