Naprašování komplexních oxidů na kovové a polymerní substráty poskytuje důležité rozšíření tenkovrstvé technologie umožňující použití substrátů lépe přizpůsobených pro aplikace, jako jsou kovové a polymerní folie. Navrhovaný projekt se zabývá výzkumem a optimalizací plazmové tryskové technologie pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev na kovové a polymerní substráty. Přímo při depozici bude prováděna in-situ diagnostika plazmatu, zejména pomocí emisní spektroskopie, časově rozlišené Langmuirovy sondy a pomocí hmotnostní spektroskopie za účelem lepšího porozumění elementárních procesů v reaktivním plazmatu. Pro lepší pochopení procesů při fyzikální a chemické interakci mezi deponovanou vrstvou a substrátem za podmínek nízkoteplotní depozice bude prováděno měření mikrostruktury a kompozičních charakteristik pomocí XRD, XPS, GD-OES, SIMS, SEM a TEM. Optické, dielektrické a fotoelektrické vlastnosti budou měřeny pomocí elipsometrie, spektrofotometrie a dielektrických měřících systémů, feroelektrické vlastnosti pomocí P-E a C-V hysterezních měření, doménová struktura a piezoelektrické vlastnosti pomocí nanointendace (elastické vlastnosti), VASE (optické vlastnosti) a LIMM (spontánní polarizace).Bude vyvinut funkční prototyp a sestaveno zařízení pro ukázku jeho funkce.
Nízkoteplotní plazmová depozice perovskitových tenkých vrstev na kovové a polymerní substráty (GACR bilaterální projekt GACR-DFG)
Anotace