Text
Tento článek představuje pečlivou optimalizaci složení plynu pro přípravu nanokrystalických diamantových vrstev dopovaných bórem pomocí lineární anténou indukované mikrovlnní plazmochemické depozice z plynné fáze. Radikálním zvýšením obsahu B a pečlivým zvážením obsahu O v plynné fázi byly připraveny diamantové vrstvy dopované bórem na velkých plochách s vysokými koncentracemi boru a úrovněmi elektrické vodivosti blízké diamantovým vrstvám dopovaným bórem připravené v konvenčních systémech MW PECVD s elektrochemickými vlastnostmi vhodnými pro průmyslové aplikace.