Investigator Mgr. Martin Čada, Ph.D. D. Tvarog Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. A. Poruba J. Dolák Laboratory / Department Department of Low-Temperature Plasma Date of award 1. 1. 2020 Postscript Optimalizovaný ICP plazmový zdroj byl navržen pro implementaci do Minimal fab systému.
