Investigator Mgr. Martin Čada, Ph.D. Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. J. Hnilica P. Klein P. Vašina Laboratory / Department Department of Low-Temperature Plasma Date of award 1. 1. 2020 Postscript Funkční vzorek HiPIMS depozičního procesu využívající více krátkých pulzů k dosažení vyšší depoziční rychlosti při dostačující ionizaci deponovaných částic.
