Hlavní cíl navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujících s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10–1 000 Hz) a vysokých (50–400 kHz) pulzních frekvencí. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a hrdým plynem) pracujících v HiPIMS režimu. Cílem tedy bude definovat podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční účinek. S týmem ovlivňujte optimální optimální podmínky hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu.
Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
Abstract