Růst porézních diamantových struktur

Tato studie sumarizuje výrobu porézních diamantových struktur za použití chemické depozice z par plynů v MW plazmatickém systému s lineárním uspořádáním antén, což je nízkonákladová technologie pro růst diamantových filmů na velké ploše (>1 m²) při nízkém tlaku (<100 Pa) a nízké teplotě (350°C). Úspěšně byly použity a optimalizovány dva různé přístupy, tj. růst diamantů na již strukturovaných (makro-, mikro- a nanorozměrových) porézních substrátech a přímý růst ultra-nanoporézních diamantových filmů.

Description

Schematic overview of the pulsed microwave plasma system with a linear antenna arrangement (left) and different diamond-based porous structures (right)