Mgr. Martin Čada, Ph.D.

Research and development of sputtering techniques for thin film deposition and advanced low-temperature plasma diagnostics.

Martin Čada
Deputy Head of Department, Head of Scientific group
Category
Senior Scientist
Division (no.)
Department (no.)
Laboratory / Scientific group
Telephone
+420 266 05 2418, +420 266 05 2995, +420 266 05 2456
E-mail
cada [at] fzu.cz
Locality
Slovanka
Room
O 331
O 218
O 329
  1. J. Vyskočil, P. Mareš, Z. Hubička, M. Čada, D. Tvarog
    A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation
  2. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, R. Houha, L. Matulová
    Optical semiconducting thin film, method of its production, equipment suitable for the production of this layer and reading devices.
  3. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, M. Klinger
    EU patent EP3788181A1 Method of low-temperature plasma generation, method of an electrically conductive or ferromagnetic tube coating using pulsed plasma and corresponding devices
  4. M. Čada, D. Tvarog, Z. Hubička, A. Poruba, J. Dolák
    ECWR plasma source
  5. M. Čada, D. Tvarog, Z. Hubička, P. Mareš, M. Dubau, J. Vyskočil
    Source for HiPIMS technology with arc evaporation
  6. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, R. Houha, L. Matulová
    Optical semiconductor element
  7. M. Čada, Z. Hubička, J. Hnilica, P. Klein, P. Vašina
    Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages
  8. M. Čada, D. Tvarog, A. Kapran, Z. Hubička, A. Poruba, J. Dolák
    Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system
  9. M. Čada, D. Tvarog, Z. Hubička, A. Poruba, J. Dolák
    ICP plasma source
  10. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, M. Klinger
    A method of generating low temperature plasma, a method of coating the inner surface of hollow electrically conductive or ferromagnetic tubes and the equipment for doing this
  11. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, D. Tvarog, T. Jetmar
    Functional sample of 3D part protected with antiabrasive and anticorrosion coating suitable for high mechanical and thermal loads.
  12. M. Čada, Z. Hubička
    Device for generating high frequency plasma discharge with electron cyclotron wave resonance
  13. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, Miloslav Klinger
    A device for pulsed plasma coating of internal surfaces of hollow dielectric tubes.
  14. J. Olejníček, J. Šmíd, Z. Hubička, M. Čada
    High rate deposition of homogeneous oxide films by multi-nozzle system of hot hollow cathodes
  15. Z. Hubička, M. Čada, J. Olejníček, P. Kšírová, V. Straňák, P. Adámek, D. Tvarog
    Reactive HiPIMS deposition system optimised for optical thin films
  16. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, Š. Kment, J. Olejníček
    Method of plasma diagnostics, excluding measurement disturbed by instability and transient phenomena in plasma, and device for performing this method.
  17. J. Olejníček, J. Šmíd, Z. Hubička, P. Adámek, M. Čada, Š. Kment
    A method of controlling the rate of deposition of thin layers in a vacuum multi-nozzle plasma system and a device for implementing this method
  18. Z. Hubička, M. Čada, Š. Kment, J. Olejníček, P. Adámek, V. Straňák
    A method for measuring low pressure deposition plasma using wave resonance of electrone-cyclotrone wave and device for realization of this method
  19. Z. Hubička, M. Čada, D. Tvarog, P. Kšírová, M. Klinger
    Plasmatic system for coatings of hollow substrates.
  20. M. Čada, Z. Hubička, D. Tvarog, M. Pultar, J. Šmíd, V. Straňák, J. Olejníček, A. Poruba, J. Vaněk, L. Pečiva, P. Lukašík, J. Dolák
    Surfatron plasma source for substrates up to 100 mm
  21. Z. Hubička, M. Čada, Š. Kment, J. Olejníček, P. Adámek, V. Straňák
    High-frequency apparatus for measurement of plasma parameters with using of wave resonance of electron cyclotron wave
  22. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, Š. Kment, J. Olejníček
    Device for plasma diagnostics with exclusion of measurements disturbed by instabilities and transition effects in plasma
  23. J. Olejníček, J. Šmíd, Z. Hubička, P. Adámek, M. Čada, Š. Kment
    Device to control deposition of thin layers in vacuum multijet plasma system
  24. J. Šmíd, J. Olejníček, Z. Hubička, M. Čada
    Multijet PVD deposition system
  25. Z. Hubička, V. Straňák, J. Šmíd, J. Olejníček, M. Čada, P. Adámek, Š. Kment, A. Kromka
    Hybrid plasma nozzle with surface wave for driving highly reactive discharges
  26. Z. Hubička, V. Straňák, J. Šmíd, J. Olejníček, M. Čada, P. Adámek, Š. Kment, A. Kromka
    Hybrid plasma nozzle with surface wave for exciting extremely reactive discharges
  27. P. Adámek, J. Olejníček, Z. Hubička, M. Čada, Š. Kment
    Control and monitoring software for diagnostics and measurement of efficiency of solar cells.
  28. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, J. Adámek, J. Stöckel
    A method for measuring the ion distribution function in a low temperature plasma, a measuring system for implementing the method and the probe for measuring system
  29. P. Adámek, J. Olejníček, M. Čada, Z. Hubička, Š. Kment
    Solar Cell I-V Curve Measurement System
  30. Z. Hubička, M. Čada, P. Adámek
    Multifunctional substrate holder for plasma depositions of optical thin films
  31. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, Š. Kment, J. Olejníček
    A method of measurement synchronisation for plasma probe diagnostics and measuring system for conducting this method
  32. Z. Hubička, M. Čada, T. Kubart, P. Adámek, J. Olejníček, Š. Kment
    System for measurement of ion and neutral particles flux deposited onto substrate during thin film deposition process
  33. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, Š. Kment, J. Olejníček
    Measuring system for microwave plasma diagnostics
  34. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, Š. Kment, J. Olejníček
    Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems
  35. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, Š. Kment, J. Olejníček, P. Lukašík, A. Piják
    Acquisition system for time-resolved the Langmuir probe diagnostics of discharges
  36. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, Š. Kment, P. Lukašík, J. Olejníček, A. Piják
    Programmable Dip-Coater for deposition of thin films in chemical solutions
  37. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík
    Measuring system for microwave diagnostic of the plasma.
  38. P. Adámek, Z. Hubička, Š. Kment, M. Čada, L. Jastrabík
    Control and monitoring software for plasma depositon control system.
  39. Z. Hubička, M. Čada, P. Adámek, Š. Kment, J. Olejníček
    An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
  40. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, P. Virostko, L. Jastrabík, J. Olejníček, V. Straňák, R. Hippler, H. T. Do
    Diagnostics method for time-resolved laser absorption spectroscopy in pulsed plasmas and measuring system for the implementation of this diagnostics method.
  41. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, J. Adámek, J. Stöckel
    Diagnostics system for measurement of ion distribution function in low-temperature plasma and probe for diagnostics system
  42. Z. Hubička, A. Dejneka, M. Čada, P. Adámek, L. Jastrabík, G. Suchaneck, J. Olejníček, Š. Kment, V. Straňák
    Plasma system developed for deposition of perovskite thin films
  43. Z. Hubička, M. Čada, P. Kšírová, Jiří Šmíd, J. Olejníček, Š. Kment
    Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes
  44. J. Šmíd, J. Olejníček, M. Čada, Š. Kment, V. Straňák, Z. Hubička, O. Babčenko, A. Kromka, Š. Potocký, P. Lukašík, A. Piják, J. Dolák, P. Martinek, J. Pitrun, Š. Rek, L. Konečný, G. Mareš, J. Štěpánek, J. Jakeš, Z. Křenek, M. Joštic
    Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.
  45. Z. Hubička, M. Čada, V. Straňák, J. Šmíd, L. Jastrabík, Š. Kment, A. Dejneka
    Hybrid plasmatic pulse system HIPIMS+MF for reactive sputtering of optical thin films for laboratory and research purposes
  46. J. Šmíd, Z. Hubička, V. Straňák, A. Churpita, M. Čada, L. Jastrabík, J. Olejníček, O. Babčenko, A. Kromka, Š. Potocký, P. Lukašík, A. Piják, J. Dolák, P. Martinek, J. Pitrun, Š. Rek, L. Konečný, G. Mareš, J. Štěpánek, J. Jakeš, Z. Křenek, M. Joštic
    Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01
  47. M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, Š. Kment, J. Olejníček, P. Adámek
    The acquisition system for plasma diagnostics by means of Langmuir probe
  48. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, L. Jastrabík, Š. Kment, J. Olejníček
    The acquisition system for probe diagnostics of plasma by means of Langmuir probe
  49. P. Adámek, M. Čada, Z. Hubička, P. Virostko, L. Jastrabík, J. Olejníček, V. Straňák, R. Hippler, H. T. Do
    Measuring system for time-resolved laser absorption spectroscopy in the pulsed plasma
  50. O. Churpita, Z. Hubička, M. Čada, L. Jastrabík, A. Dejneka, Š. Kment, M. Hrabovský
    System for the deposition of thin films at atmospheric pressure