The program preparation of block data for calculation of deposited film elastic properties from measurements of velocity of Rayleigh wave

Investigator
  • Ing. Petr Boháč, CSc.
Laboratory / Department
Department of Low-Temperature Plasma
Date of award
Program pro přípravu počátečních hodnot vstupních dat pro výpočet elastických vlastností deponovaných vrstev z měření rychlosti Rayleigho vlny