Automatic system of mass flow control of working gasses in MW plasma system PLASMASTR02 with plasma jet channels.

Investigator
  • J. Šmíd
  • P. Lukašík
  • A. Piják
  • J. Dolák
  • P. Martinek
  • J. Pitrun
  • Š. Rek
  • L. Konečný
  • G. Mareš
  • J. Štěpánek
  • J. Jakeš
  • Z. Křenek
  • M. Joštic
Laboratory / Department
Department of Semiconductors
Date of award
V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou.