Investigator J. Šmíd RNDr. Jiří Olejníček, Ph.D. Mgr. Martin Čada, Ph.D. Ing. Štěpán Kment, Ph.D. prof. doc. RNDr. Vítězslav Straňák, Ph.D. Mgr. Zdeněk Hubička, Ph.D. Mgr. Oleg Babčenko, Ph.D. prof. Ing. Alexander Kromka, DrSc. Ing. Štěpán Potocký, Ph.D. P. Lukašík A. Piják J. Dolák P. Martinek J. Pitrun Š. Rek L. Konečný G. Mareš J. Štěpánek J. Jakeš Z. Křenek M. Joštic Laboratory / Department Department of Semiconductors Date of award 1/1/2012 Postscript V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém kontroly průtoku plynu a jejich směsí v plazmovém reaktoru s lineární řadou MW plazmových kanálů s povrchovou vlnou.